接合イオンスライスLiNbO3結晶におけるプロトン交換増速エッチングによるリッジ光導波路の作製・評価及びデバイス応用
接合イオンスライスLiNbO3結晶におけるプロトン交換増速エッチングによるリッジ光導波路の作製・評価及びデバイス応用
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在结离子切片 LiNbO3 晶体中使用质子交换增强蚀刻制造和评估脊形光波导和器件应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栖原敏明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中圭祐;栖原敏明
