Measurement of opaque-multi-layer film thickness by photoacoustic effect -Microvibration measurement for rough face-

Measurement of opaque-multi-layer film thickness by photoacoustic effect -Microvibration measurement for rough face-
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利用光声效应测量不透明多层膜厚度-粗糙面微振动测量-

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering Vol.71, No.12
影响因子：
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通讯作者：
Hiromitu TUTUI
Hiromitu TUTUI
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Takahiro OKUDA;Ichirou ISHIMARU;Hiromitu TUTUI

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