標準コンダクタンスエレメントを用いたESD計測の定量化の試み
標準コンダクタンスエレメントを用いたESD計測の定量化の試み
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尝试使用标准电导元件量化 ESD 测量
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮内直弥，矢ヶ部太郎，北島正弘，吉田肇，板倉明子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryoto Togashi;Makoto Kohga;佐藤宏樹，竹見哲也;宮内直弥，矢ヶ部太郎，北島正弘，吉田肇，板倉明子
