化学刻蚀过程中熔石英表面沉积物的形成及其对激光损伤的影响
化学刻蚀过程中熔石英表面沉积物的形成及其对激光损伤的影响
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DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李合阳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王志强;严鸿维;袁晓东;杨科;李源;晏良宏;张丽娟;刘太祥;李合阳
