LiNbO3振動子を用いた連続膜形成検知センサの 感度評価
LiNbO3振動子を用いた連続膜形成検知センサの 感度評価
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使用LiNbO3谐振器的连续成膜检测传感器的灵敏度评估
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平尾雅彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
橋里駿;白岩裕一郎;中村暢伴;荻博次;平尾雅彦