A practical electrode for microwave plasma processes
A practical electrode for microwave plasma processes
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用于微波等离子体工艺的实用电极
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Mukasa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Toyota;S. Nomura;S. Mukasa
