MEMS材料のコンビナトリアル評価-線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法-
MEMS材料のコンビナトリアル評価-線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法-
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MEMS材料的组合评价-线膨胀系数和纵向弹性模量的同时评价方法-
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
青野祐子・秦 誠一・桜井淳平・山内隆介・下河辺 明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Aono;S. Hata;J. Sakurai;R. Yamauchi;H. Tachikawa and A. Shimokohbe;青野祐子・秦 誠一・桜井淳平・山内隆介・下河辺 明
