Katsuya Higa: "Fabrication of Si microstructures by using ion implantation and anodization" Extended abstracts. Microprocess Conference'96. 198-199 (1996)
Katsuya Higa: "Fabrication of Si microstructures by using ion implantation and anodization" Extended abstracts. Microprocess Conference'96. 198-199 (1996)
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Katsuya Higa：“利用离子注入和阳极氧化制造硅微结构”扩展摘要。
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