M.Kurihara: "2D modelling of RF plasma in a micro-cell in Xe by using RCT model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 326-365 (1998)
M.Kurihara: "2D modelling of RF plasma in a micro-cell in Xe by using RCT model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 326-365 (1998)
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M.Kurihara：“使用 RCT 模型对 Xe 中微单元中的 RF 等离子体进行 2D 建模”第 15 次 Symp.On 等离子体处理论文集。
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