T.Kimura,K.Kaga and K.Ohe: "Gap length dependence of electron energy distribution in low pressure Ar capacitively-coupled RF discharges"Jpn.J.Appl.Pbup.. (印刷中). (2000)

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T.Kimura、K.Kaga 和 K.Ohe:“低压 Ar 电容耦合射频放电中电子能量分布的间隙长度依赖性”Jpn.J.Appl.Pbup..(出版中)。

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