Mechanical Design and Control of 3-DOF Active Scanning Probe Using Parallel Link Mechanism
Mechanical Design and Control of 3-DOF Active Scanning Probe Using Parallel Link Mechanism
复制标题
采用并联机构的三自由度主动扫描探头的机械设计与控制
DOI：
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发表时间：
2011
影响因子：
1.1
通讯作者：
K.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Harada;T.;Dong;K.
