Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and their Diagnostics"Proc.20th Symposium on Plasma Processing. 91-92 (2003)
Tatsuya Banno: "Generation of UHV Compatible Plasmas by Surface Wave Modes and their Diagnostics"Proc.20th Symposium on Plasma Processing. 91-92 (2003)
复制标题
Tatsuya Banno：“通过表面波模式及其诊断产生 UHV 兼容等离子体”Proc.20th 等离子体处理研讨会。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
