湿式法によるSi(111)表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の自己組織的形成
湿式法によるSi(111)表面のステップ端に沿ったナノ溝構造の自己組織的形成
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湿法沿Si(111)表面台阶边缘自组织形成纳米凹槽结构
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内鉄朗，馬智達，橋本龍人，孫栄硯，山村和也，有馬健太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Higashi;K. Kawai;K. Yamamura;K. Arima;竹内鉄朗，馬智達，橋本龍人，孫栄硯，山村和也，有馬健太
