Micro-Accelerometer and Magneto- resistive (MR) Sensor Directly Fabricated on a Ceramic Substrate
Micro-Accelerometer and Magneto- resistive (MR) Sensor Directly Fabricated on a Ceramic Substrate
复制标题
直接在陶瓷基板上制造的微加速度计和磁阻 (MR) 传感器
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他6名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Aoyagi;M. Suzuki;T. Takahashi;他6名
