高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発(二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上)
高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発(二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上)
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开发边缘形状高度平坦的研磨垫（通过软化两层研磨垫上层来提高边缘平坦度）
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
榎本俊之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐竹うらら;廣瀬研二;榎本俊之
