Y.Yamamoto et.al: "Measurement of Si atom density in ultra high frequency discharge silane plasma" Bulletin of the American Physical Society. 42・8. 1753 (1998)
Y.Yamamoto et.al: "Measurement of Si atom density in ultra high frequency discharge silane plasma" Bulletin of the American Physical Society. 42・8. 1753 (1998)
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Y. Yamamoto 等人：“超高频放电硅烷等离子体中硅原子密度的测量”美国物理学会公报 42・8（1998）。
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