Reliability of parameters of associated base straight line in step height samples: Uncertainty evaluation in step height measurements using nanometrological AFM
Reliability of parameters of associated base straight line in step height samples: Uncertainty evaluation in step height measurements using nanometrological AFM
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台阶高度样品中相关基准直线参数的可靠性：使用纳米 AFM 进行台阶高度测量的不确定性评估
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Takamasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Misumi;S. Gonda;T. Kurosawa;Y. Azuma;T. Fujimoto;I. Kojima;Toshihisa Sakurai;T. Ohmi;K. Takamasu
