Inner Wall Coating of Narrow Tubes, by Scanning Second Harmonic ECRMicro Plasmas,

Inner Wall Coating of Narrow Tubes, by Scanning Second Harmonic ECRMicro Plasmas,
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通过扫描二次谐波 ECRMicro 等离子体进行窄管内壁涂层，

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proc. of the 6th Asia-Europe Intermational Symposium on Plasma Surface Engineering vol.1
影响因子：
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通讯作者：
T. Nakatani and H. Fujiyama
T. Nakatani and H. Fujiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y. Nitta;K. Okamoto;T. Nakatani and H. Fujiyama

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