K.Shibahara: "Dopant Loss Origins of Low Energy Implanted Arsenic and Antimony for Ultra Shallow Junction For mation" Materials Research Society Symposium Proceedings. 525. 23-28 (1998)
K.Shibahara: "Dopant Loss Origins of Low Energy Implanted Arsenic and Antimony for Ultra Shallow Junction For mation" Materials Research Society Symposium Proceedings. 525. 23-28 (1998)
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K.Shibahara：“用于超浅结形成的低能量注入砷和锑的掺杂剂损失起源”材料研究学会研讨会论文集。
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