Multi-layer inverse design of vertical grating couplers for high-density, commercial foundry interconnects
Multi-layer inverse design of vertical grating couplers for high-density, commercial foundry interconnects
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用于高密度、商业铸造互连的垂直光栅耦合器的多层逆向设计
DOI：
10.1364/oe.466015
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
Ralph, Stephen E.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hammond, Alec M.;Slaby, Joel B.;Probst, Michael J.;Ralph, Stephen E.
