Siナノドットメモリにおけるート酸化膜厚依存性

Siナノドットメモリにおけるート酸化膜厚依存性
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硅纳米点存储器中氧化膜厚度的依赖性

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
第50回応用物理学関係連合講演会 1a-P6-19
影响因子:
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通讯作者:
林司
林司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
P.Punchaipetch;市川和典;矢野裕司;畑山智亮;浦岡行治;冬木隆;高橋英治;林司

文献摘要

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