3次元ナノ構造形成のための斜めプラズマエッチング技術の開発と展望
3次元ナノ構造形成のための斜めプラズマエッチング技術の開発と展望
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三维纳米结构倾斜等离子体刻蚀技术的进展与展望
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋重樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋重樹;岡野誠;今田昌広;野田進;高橋重樹
