小型直線型装置CTP-HCを用いた非接触プラズマ中のプラズマ流に関する研究
小型直線型装置CTP-HCを用いた非接触プラズマ中のプラズマ流に関する研究
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利用小型线性装置CTP-HC研究非接触等离子体中的等离子体流动
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江角直道
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Arakawa;T. Hamada;T. Sakoda;M. Otsubo;Toshiyuki Hamada;N. Ezumi;江角直道;Shunichi Arakawa;N.Ezumi;Tatsuya Sakoda;江角直道
