Fabrication and Evaluation of Micrometer-scale Optical Elements using Three-dimensional Irradiation Effects Localized in Micro and Nano-scale Regions
Fabrication and Evaluation of Micrometer-scale Optical Elements using Three-dimensional Irradiation Effects Localized in Micro and Nano-scale Regions
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利用微米级和纳米级区域的三维辐照效应制造和评估微米级光学元件
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Nishikawa;K.Fukagawa;T.Yanagi;T.Nakamura;Y.Ohki;E.Watanabe;M.Oikawa;K.Arakawa;T.Kamiya
