TiN下部電極の表面酸化によるTiN/HfxZr1－xO2/TiN強誘電体キャパシタの分極疲労の抑制
TiN下部電極の表面酸化によるTiN/HfxZr1－xO2/TiN強誘電体キャパシタの分極疲労の抑制
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TiN下电极表面氧化抑制TiN/HfxZr1-xO2/TiN铁电电容器极化疲劳
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松川 貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
女屋 崇;生田目 俊秀;森田 行則;太田 裕之;右田 真司;喜多 浩之;長田 貴弘;塚越 一仁;松川 貴
