TiN/Hf0.5Zr0.5O2/Si MFSキャパシタの電気特性に与える基板タイプの影響
TiN/Hf0.5Zr0.5O2/Si MFSキャパシタの電気特性に与える基板タイプの影響
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基材类型对TiN/Hf0.5Zr0.5O2/Si MFS电容器电特性的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
トープラサートポン カシディット，田原建人，福井太一郎，竹中充，高木信一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Toprasertpong;M. Takenaka;and S. Takagi;トープラサートポン カシディット，田原建人，福井太一郎，竹中充，高木信一
