Radio-frequency power graded hydrogenated amorphous carbon films on diverse substrates

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不同基底上的射频功率分级氢化非晶碳薄膜

DOI：
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发表时间：
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期刊：
International Journal of Material Science
影响因子：
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通讯作者：
Musen Li.
Musen Li.
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
Yujie Huang;Qi Wang;Mei Wang;Musen Li.

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