Heteroepitaxial Growth of Highly-Oriented Diamond Films on 3C-SiC / Si (111) Substrates by Pulse Bias Enhanced Nucleation
Heteroepitaxial Growth of Highly-Oriented Diamond Films on 3C-SiC / Si (111) Substrates by Pulse Bias Enhanced Nucleation
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利用脉冲偏压增强成核技术在 3C-SiC/Si (111) 基底上异质外延生长高取向金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mutsuko Hatano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeru Suto;Junya Yaita ;Takayuki Iwasaki ;Mutsuko Hatano
