K. Sasaki, K. Nakata T. Hata: "Eptaxial Growth of SiGe Thin Films by Ion-Beam Sputtering" Appl. Surface Science. 113/114. 43-47 (1997)
K. Sasaki, K. Nakata T. Hata: "Eptaxial Growth of SiGe Thin Films by Ion-Beam Sputtering" Appl. Surface Science. 113/114. 43-47 (1997)
复制标题
K. Sasaki、K. Nakata T. Hata:“通过离子束溅射进行 SiGe 薄膜的外延生长”应用。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: