反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜のナノネットワーク構造制御
反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜のナノネットワーク構造制御
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反应等离子体辅助沉积法控制氮化硼薄膜纳米网络结构
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Duan Shuwei;Guo Fuqiang;Wu Dongting;Wang Tao;Tsuchiya Taiki;Matsuda Kenji;Zou Yong;濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
