高圧プラズマ固体ソースエッチング法におけるプラズマ励起周波数の影響
高圧プラズマ固体ソースエッチング法におけるプラズマ励起周波数の影響
复制标题
等离子体激发频率对高压等离子体固态源刻蚀方法的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
安武潔
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大参宏昌;梅原弘毅;垣内弘章;安武潔
