Effect of sputtering conditions on structure of titanium oxynitride coatings
Effect of sputtering conditions on structure of titanium oxynitride coatings
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溅射条件对氮氧化钛涂层结构的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masateru Nose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yusuke Muraoka;Seungwon Lee;Kenji Matsuda;Masateru Nose
