Characterization of TiHfN ternary alloy films as a new barrier
Characterization of TiHfN ternary alloy films as a new barrier
复制标题
TiHfN三元合金薄膜作为新型势垒的表征
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mayumi B. Takeyama and Masaru Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤勝;武山真弓;Mayumi B. Takeyama and Masaru Sato
