ゾル－ゲル法により作製されるZnO薄膜の応力緩和に及ぼす組織の影響
ゾル－ゲル法により作製されるZnO薄膜の応力緩和に及ぼす組織の影響
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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜结构对应力松弛的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
幸塚広光
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西村優希;幸塚広光
