Dielectric constant profiles of the thin-films : Alpha- and Beta-quartz phase of(Si or Ge)dioxide
Dielectric constant profiles of the thin-films : Alpha- and Beta-quartz phase of(Si or Ge)dioxide
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薄膜的介电常数分布：（Si 或 Ge）二氧化物的 α 和 β 石英相
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
名取晃子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村淳;涌井貞一;田村雅大;名取晃子
