Tagawa M., Yokota K., Ohmae N., Kinoshita H., Umeno M: "Oxidation properties of hydrogen-terminated Si(001) surfaces following use of a hyperthermal broad atomic oxygen beam at low temperatures"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.40,No.10. 6152-6156
Tagawa M., Yokota K., Ohmae N., Kinoshita H., Umeno M: "Oxidation properties of hydrogen-terminated Si(001) surfaces following use of a hyperthermal broad atomic oxygen beam at low temperatures"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.40,No.10. 6152-6156
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Takawa M.、Yokota K.、Ohmae N.、Kinoshita H.、Umeno M:“在低温下使用超高温宽原子氧束后氢封端的 Si(001) 表面的氧化特性”《日本应用物理学杂志》。
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