レーザー3次元アトムプローブによる半導体材料中のドーパント分布解析
レーザー3次元アトムプローブによる半導体材料中のドーパント分布解析
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使用激光三维原子探针分析半导体材料中的掺杂剂分布
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高見澤悠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上耕治;清水康雄;高見澤悠
