以(10■5)面为籽晶的6H-SiC单晶生长与缺陷研究

以(10■5)面为籽晶的6H-SiC单晶生长与缺陷研究
复制标题

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
人工晶体学报
影响因子:
--
通讯作者:
胡小波
胡小波
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
彭燕;蒋民华;陈秀芳;李娟;徐现刚;高玉强;胡小波

文献摘要

相似文献