Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors
Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors
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用于压电 MEMS 传感器的 SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si 上高度 c 轴取向 PMnN-PZT 薄膜的溅射外延
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，Shuji Tanaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中あや;藤井裕紀;手島哲彦;河西奈保子;岡嶋孝治;中島 寛;Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，Shuji Tanaka
