Evaluation of subnanoscale pore structure of silica PECVD films time-elapsed under the atmospheric conditions
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大气条件下随时间推移的二氧化硅 PECVD 薄膜亚纳米级孔隙结构的评估
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
都留 稔了
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉本 茂;伊藤 賢志;細見 博之;竹田 正明;都留 稔了
