次世代高性能シリコン薄膜デバイス製造に向けた低温シリコン膜の研究開発
次世代高性能シリコン薄膜デバイス製造に向けた低温シリコン膜の研究開発
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用于制造下一代高性能硅薄膜器件的低温硅薄膜的研发
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
城 尚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福田 永;城 尚志
