Preparation of ZnO films by a coplanar plasma discharge technique
Preparation of ZnO films by a coplanar plasma discharge technique
复制标题
共面等离子体放电技术制备ZnO薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Shibayama;他
