A Schottky emitter using boron-doped diamond

A Schottky emitter using boron-doped diamond
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使用掺硼金刚石的肖特基发射器

DOI：
10.1116/1.1736640
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发表时间：
2003
期刊：
IEEE/CPMT/SEMI. 28th International Electronics Manufacturing Technology Symposium (Cat. No.03CH37479)
影响因子：
--
通讯作者：
M. Esashi
M. Esashi
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
J. Bae;P. Minh;T. Ono;M. Esashi

文献摘要

被引文献

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在本文中，我们展示了一个集成加热元件的金刚石肖特基发射极的制造热灯丝化学气相沉积在硅衬底上和SEM表征。金刚石发射体在电场中提供800nA的发射电流。
In this paper, we demonstrate fabrication of a diamond Schottky emitter with integrated heating element by hot filament chemical vapor deposition on silicon substrate and characterisation by SEM. The diamond emitter provided an emission current of 800nA in the electric field.