MEMS粘性センサ(η-MEMS)の開発
MEMS粘性センサ(η-MEMS)の開発
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开发MEMS粘度传感器（η-MEMS）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本泰之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yano;T.;Nishino;K.;Kawamura;H.;Ueno;I.;Matsumoto;S.;Ohnishi;M.;山本泰之
