触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-Si面とC面の加工特性の評価-
触媒作用を援用したSiCの超精密研磨に関する研究-Si面とC面の加工特性の評価-
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利用催化作用的SiC超精密抛光研究-Si表面和C表面的加工特性评价-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;他
