フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化
复制标题
闪光灯退火非晶硅薄膜的横向结晶
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松村英樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平圭介;石井翔平;渡村尚仁;松村英樹
