Kazuyuki Minami et al.: "Electrostatic Micro Actuator with Distributed Ciliary Electrodes (E-Maccel)"Proc.the 20th Sensor Symposium. 20th. 65-69 (2003)
Kazuyuki Minami et al.: "Electrostatic Micro Actuator with Distributed Ciliary Electrodes (E-Maccel)"Proc.the 20th Sensor Symposium. 20th. 65-69 (2003)
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Kazuyuki Minami 等人：“带有分布式纤毛电极的静电微致动器 (E-Maccel)”Proc.第 20 届传感器研讨会。
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