K. Tominaga and Y. Shintani: "AlN Preparation on Glass by Sputtering System with Facing Targets." Jpn. J. Appl. Phys.28-2, Sppl.17-20 (1989)
K. Tominaga and Y. Shintani: "AlN Preparation on Glass by Sputtering System with Facing Targets." Jpn. J. Appl. Phys.28-2, Sppl.17-20 (1989)
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K. Tominaga 和 Y. Shintani：“通过面向靶材的溅射系统在玻璃上制备 AlN”。
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