A Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XY□ Surface Encoder for Precision Positioning
A Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XY□ Surface Encoder for Precision Positioning
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集成 XY□ 表面编码器的表面电机驱动平面运动平台，用于精确定位
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W.Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuo Hara;Masato Furukawa;Naoki Akihiro;K. Hazu;W.Gao
