西村幹郎,中野誠彦,山口由岐夫,真壁利明: "Modeling of the Radical Transport in RF Glow Discharges in CH_4" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 337-340 (1990)
西村幹郎,中野誠彦,山口由岐夫,真壁利明: "Modeling of the Radical Transport in RF Glow Discharges in CH_4" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 337-340 (1990)
复制标题
Mikio Nishimura、Masahiko Nakano、Yukio Yamaguchi、Toshiaki Makabe：“CH_4 中射频辉光放电中的自由基输运建模”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 337-340 (1990)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
